伴隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也進(jìn)入了歷史階段。其特點(diǎn)是體積小、重量輕、精度高、溫度特性好。特別是隨著傳感器技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器發(fā)展為微型，功耗低，可靠性高。
微壓傳感器體積小、超薄、防水、防油，廣泛應(yīng)用于空氣動(dòng)力學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、化學(xué)爆炸或核爆炸沖擊波等研究領(lǐng)域。
◇量程范圍廣；
◇固有頻率高；
◇體積小，動(dòng)態(tài)響應(yīng)頻率高；
微壓力傳感器最小直徑2.54毫米，長度3.77毫米。
◇FS精度高，最高可達(dá)0.1%；
◇溫度范圍寬，從低溫-40℃到高溫+120℃(特別是+175℃)。
長久穩(wěn)定，能承受各種惡劣環(huán)境。
量程：0~1~150(MPa)
綜合精度：0.2%FS.0.5%FS.1.0%FS。
輸出信號(hào)：1.0mv/v.1.5mv/v.2.0mv/v.3mv/v(四線制)
電源電壓：10DCV(6~12DCV)
介質(zhì)溫度：-20~85℃。
常溫(-20~85℃)
負(fù)載電阻：
輸出類型：最大800ω；
電壓輸出類型：50kω以上。
絕緣電阻：2000mω以上(100VDC)。
密封等級(jí)：IP65。
長期穩(wěn)定性：0.1%FS/年。
當(dāng)振動(dòng)影響00Hz機(jī)械振動(dòng)頻率時(shí)，輸出變化小于0.1%FS。
電接口(信號(hào)接口)：四色輸出。
機(jī)器連接(螺紋接口)：1/2-20UNF.M14×1.5.M20×1.5.M22×1.5等。
工作原理。
1.壓阻壓力傳感器。
電阻應(yīng)變片是壓阻應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。應(yīng)變阻器的工作原理是吸附在基座上的應(yīng)變電阻隨機(jī)械變形而變化，通常稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。
2.陶瓷壓力傳感器。
陶瓷壓力傳感器基于壓阻效應(yīng)，直接作用于陶瓷膜的前表面，使膜輕微變形。陶瓷膜背面印有厚膜電阻，連接成惠斯通電橋。由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng)，電橋產(chǎn)生與壓力成正比的高線性電壓信號(hào)。標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)標(biāo)定為2.0/3.0/3.3mv/V。
3.擴(kuò)散硅壓力傳感器：
擴(kuò)散硅壓力傳感器的工作原理也是基于壓力阻力效應(yīng)。利用壓力阻力效應(yīng)原理，測(cè)量介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器膜（不銹鋼或陶瓷），產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，改變傳感器的電阻值，利用電子線檢測(cè)變化，轉(zhuǎn)換輸出相應(yīng)壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
4.藍(lán)寶石壓力傳感器：
硅藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件，利用應(yīng)變電阻原理，具有無可比擬的測(cè)量性能。這樣，由硅藍(lán)寶石制成的半導(dǎo)體敏感元件，對(duì)溫度變化不敏感，即使在高溫條件下也能工作；藍(lán)寶石抗輻射性能好；硅藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件沒有p-n漂移。
5.壓力傳感器：
壓電式傳感器的基本原理是壓電效應(yīng)。由于壓電傳感器在無限制的輸入阻抗情況下，因此無法將壓電傳感器用于靜態(tài)測(cè)量。事實(shí)并非如此，這決定了壓電傳感器只能測(cè)量動(dòng)態(tài)應(yīng)力。
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